當(dāng)干式螺桿真空泵需要關(guān)停時：

首先要做的是關(guān)閉真空泵進(jìn)氣端的主閥；

關(guān)閉進(jìn)氣閥門后，如果真空系統(tǒng)抽的介質(zhì)涉及水蒸氣、可凝氣體、腐蝕氣體、或者固體顆粒等成分，這時需要開啟吹掃系統(tǒng)進(jìn)行清理。這個步驟根據(jù)干式螺桿真空泵遇到的不同介質(zhì)，分若干不同情況：

如果是水蒸氣、溶劑、灰塵等，打開吹掃閥，在氣體沖洗入口充入氮?dú)獾榷栊詺怏w，讓真空泵空載運(yùn)行20～30分鐘，使真空泵恢復(fù)清潔、干燥的狀態(tài)；

如果是可凝介質(zhì)、粘性固體，則需要在溶劑清洗入口以0.5～2L/min的速度注入對應(yīng)清洗液，對泵內(nèi)實施清洗。結(jié)束后再在氣體沖洗入口充入惰性氣體，執(zhí)行氣體沖洗步驟，使泵內(nèi)恢復(fù)清潔干燥；

吹掃步驟完成后，關(guān)閉吹掃閥門，然后關(guān)閉電機(jī)停機(jī)；

停機(jī)后再關(guān)閉氮?dú)忾y門；

然后確認(rèn)冷卻水進(jìn)出溫差不大后，關(guān)閉冷卻水閥門；這里需要注意，如果環(huán)境溫度存在可能結(jié)冰的情況時，需要通過排泄閥排凈泵內(nèi)及管線內(nèi)的冷卻水，以防止結(jié)凍。

最后打開出入口排污閥，檢查是否有冷凝液存在。檢查完畢后，才算是完成了干式螺桿真空泵的整個停機(jī)步驟。